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    產品詳情
    • 產品名稱:光電輪廓儀

    • 產品型號:WGL
    • 簡單介紹:
      WGL光電輪廓儀特點:本儀器采用非接觸、光學相移干涉測量方法,測量時不損傷工件表面,能快速測得各種工件表面微觀形貌的立體圖形,并分析計算出測量結果。適用于測量各種量塊、光學零件表面的粗糙度;標尺、度盤的刻線深度;光柵的槽形結構鍍層厚度和鍍層邊界處的結構形貌;磁(光)盤、磁頭表面結構測量;硅片表面粗糙度及其上圖形結構測量等等。
    詳情介紹
    WGL光電輪廓儀由于儀器測量精度高,具有非接觸和三維測量的特點,并采用計算機控制和快速分析、計算測量結果,本儀器適用于各級測試、計量研究單位工礦企業計量室,精密加工車間,也適用于高等院校和科學研究單位等。
    主要技術參數
    表面微觀不平深度測量范圍
    在連續表面上,相鄰二象素之間沒有大于1 / 4 波長的高度突變時:1000 一1nm
    相鄰二象素之間含有大于1 / 4 波長的高度突變時:130 一1nm
    測量的重復性:δRa ≤0.5nm
    物鏡倍率:40X
    數值孔徑:Φ 65  
    工作距離:0.5mm
    儀器視場  目視: Φ0.25mm
    攝象: 0.13×0.13mm
    儀器放大倍數 目視: 500×
    攝象(計算機屏幕觀察)一2500×
    接收器測量列陣:1000X1000
    象素尺寸:5.2×5.2µm
    測量時間采樣(掃描)時間:1S
    儀器標準鏡     反射率(高): ~50 %
    反射率(低): ~4 %
    照明光源:白熾燈6V 5W
    綠色干涉濾光片波長:λ≒530nm  
    半寬度λ≒10nm  
    主顯微鏡升程:110 mm
    工作臺升程:5 mm
    X 、丫方向移動范圍: ~10 mm
    工作臺旋轉運動范圍:360°
    工作臺頃斜范圍:±6°
    計算機系統:P4 , 2 .8G 以上,內存1G以上17寸純平顯示器

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    滬公網安備 31011402005093號

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